成都威特南光真空科技有限公司

WTX1100x1400型箱式真空镀膜机 合理的配置，先进的控制系统；性能稳定可靠，抽速快，生产效率高， 特别适合大批量生产和科研镀制多层精密光学薄膜。其主要技术指标： 1.真空工作室系统 内腔尺寸：宽度X深度X高度＝1100X1100X1400mm 真空系统：机械泵--国产2x-70型旋片泵，可根据需要选用进口泵 罗茨泵--国产ZJ-300型罗茨泵，可根据需要选用进口泵 扩散泵--采用两台国产K-500T油扩散泵 单泵抽速为12500L/S 深冷系统-- 可选配 冷阱 --采用新型紧密水冷冷阱，有效降低扩散泵返油率 真空参数：极限真空 3X10-4Pa 恢复真空时间：从大气抽至4X10-3Pa时间不大于15分钟 2.工件烘烤装置 采用上烘烤加热方式，多根不锈钢管状加热器作为加热源 温度控制范围：常温到350 ℃ 采用PID温度控制系统，加热管功率多组独立可调 温度分布均匀度:±10℃ 3.修正板机构:配有可倒式修正板，能进行自动控制 4.工件盘 : 采用整体工件盘，利于提高镀膜精度和均匀性 5.蒸镀系统: 蒸发方式--威特南光新型10KW电子枪； 亦可使用进口电子枪（如美国telemark, 德国Ferrotec的电子枪）。 可选配电阻蒸发源 控制方式--能进行自动或手动两种方式镀膜 6.膜厚监控系统: 晶体膜厚控制仪 --MDC360石英晶体监控仪，亦可选用IC5 可配单片式、双片式或六片式探头 光学膜厚监控系统--选配 7.充气系统: 质量流量计控制系统。 可选配VCC500压强控制仪 8.电气控制系统: 可实现抽真空和镀膜过程自动控制 亦可选配触摸屏界面